基于表面等离激元的波导磁场/电流传感器及其装置

摘要

本发明涉及一种基于表面等离激元的波导磁场/电流传感器，用于对磁场强度或电流强度进行检测，所述磁场/电流传感器包括磁场发生器和安装在磁场发生器内的从上到下依次设置的第一金属波导、电介质通道和第二金属波导，其中第一金属波导和/或第二金属波导内开设有谐振腔，谐振腔通过开设在相应金属波导上的金属缝与电介质通道连通，谐振腔内填充有磁敏感物质。本发明提供的磁场/电流传感器具有以下有益效果：将测量空间缩小到光波导宽度尺寸的数量级，磁场/电流传感器的尺寸可以做到很小，方便技术人员进行集成化和阵列化；由于磁场/电流传感器能够避免受光源波动等外界条件影响，具有探测灵敏度高的优点。

主权项

一种基于表面等离激元的波导磁场/电流传感器，其特征在于：包括磁场发生器（11）和安装在磁场发生器（11）内的从上到下依次设置的第一金属波导（12）、电介质通道（13）和第二金属波导（14），其中第一金属波导（12）和/或第二金属波导（14）内开设有谐振腔（15），谐振腔（15）通过开设在相应金属波导上的金属缝与电介质通道（13）连通，谐振腔（15）内填充有磁敏感物质。