| 发明名称 | 一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及半导体光电材料，具体涉及一种铝掺氧化锌导电薄膜的制备方法，包括以下步骤：以三氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷作为靶材，调节本底真空度为0.5～2×10<sup>-4</sup>pa、衬底温度为80～120℃，以氩为溅射源、工作压强为0.4～0.8Pa，靶基距为5～7cm，采用梯度溅射功率喷溅1h，得到铝掺氧化锌导电薄膜。该方法具有工艺步骤简单、易操作的优点，制备的铝掺氧化锌透明导电薄膜，致密度高、附着力强、紫外可见光范围达到400～900nm，光透过率高达90～98％、电阻率可低至1.2×10<sup>-4</sup>欧姆·厘米。 | ||
| 申请公布号 | CN105018882A | 申请公布日期 | 2015.11.04 |
| 申请号 | CN201510446527.1 | 申请日期 | 2015.07.28 |
| 申请人 | 朱华 | 发明人 | 朱华;王艳香;况慧芸;杨志胜;范学运;郭平春;冯晓炜 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京国智京通知识产权代理有限公司 11501 | 代理人 | 王昌贵 |
| 主权项 | 一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：以三氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷作为靶材，调节本底真空度为0.5×10<sup>‑4</sup>～2×10<sup>‑4</sup>Pa、衬底温度为80～120℃，以氩为溅射源、工作压强为0.4～0.8Pa，靶基距为5～7cm，采用梯度溅射功率喷溅1h，得到铝掺氧化锌导电薄膜。 | ||
| 地址 | 江西省景德镇市浮梁县湘湖镇景德镇陶瓷学院机电学院 | ||