一种采用高压水处理抛光布表面的装置

摘要

一种采用高压水处理抛光布表面的装置，适用于单晶硅抛光片生产中，对抛光布进行表面预处理。本实用新型中的柱塞泵（3）将纯水管路（1）中的纯水施加压力后进入高压供纯水供给装置（4）并经高压纯水管（5）将高压纯水通过喷头（8）喷射到需处理的抛光布上。喷头（8）安装在抛光机主转盘（10）边部的摆臂（7）上，可随抛光机主转盘（10）自抛光机大盘边缘到中心轮附近再回到抛光机主转盘（10）边缘，完成一个摆动周期。刷子（9）与抛光布表面在工作中并不接触，没有相互摩擦，不对抛光布造成损伤。本实用新型提高了抛光布的使用寿命，降低了生产成本，减轻了劳动强度，提高了工作效率。

主权项

一种采用高压水处理抛光布表面的装置，其特征是：所述的一种采用高压水处理抛光布表面的装置，主要由柱塞泵（3）、高压纯水供给装置（4）、高压纯水管（5）、驱动电机（6）、摆臂（7）、喷头（8）、刷子（9）、构成；其中柱塞泵（3）安装在工厂系统纯水管路（1）上，并与工厂系统的压缩空气管路（2）连接；高压纯水供给装置（4）通过管路与柱塞泵（3）连接在一起；喷头（8）和刷子（9）都装在抛光机主转盘（10）边部摆臂（7）的同一端，喷头（8）安装在刷子（9）的中间位置；驱动电机（6）安装在摆臂（7）的另一端；高压纯水管（5）一端接在高压纯水供给装置（4）上，另一端穿过摆臂（7）与喷头（8）连接。