用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置

摘要

本发明公开了一种用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，包括真空相连的装载室、磁控溅射镀膜室以及收卷室，装载室内设置第一转轴，收卷室内设置第二转轴，第二转轴的输出端连接有使其均匀转动的动力装置，柔性线材的一端设置在第一转轴上，另一端固定在第二转轴上，以柔性线材为中心在磁控溅射镀膜室上环形均布至少三个溅射靶。通过将柔性线材依次穿设在装载室、磁控溅射镀膜室和收卷室内，并通过收卷室内的均匀转动的转轴使柔性线材均匀移动，可连续的对柔性线材镀膜，提高生产效率，利用磁控溅射镀膜技术对柔性线材镀膜，使膜层更加稳定可靠，磁控溅射镀膜室内绕柔性线材均匀设置多个溅射靶，使柔性线材外表面能进行完整的镀膜工作且膜层均匀。

主权项

一种用于柔性线材表面镀膜的磁控溅射装置，其特征在于，包括真空相连的用于装载待镀柔性线材的装载室、用于对柔性线材进行镀膜的磁控溅射镀膜室以及用于对完成镀膜的柔性线材进行收卷的收卷室，所述装载室内设置用于对柔性线材放卷的第一转轴，所述收卷室内设置用于对柔性线材收卷的第二转轴，所述第二转轴的输出端连接有使其均匀转动的动力装置，所述柔性线材的一端设置在第一转轴上，另一端依次穿过所述装载室、磁控溅射镀膜室固定在所述收卷室内的第二转轴上，以柔性线材为中心在所述磁控溅射镀膜室上环形均布至少三个溅射靶；所述装载室与所述磁控溅射镀膜室之间设置第一过渡腔，所述装载室靠近所述第一过渡腔的一侧设置装载室导线孔，所述收卷室与所述磁控溅射镀膜室之间设置第二过渡腔，所述收卷室靠近所述第二过渡腔的一侧设置收卷室导线孔；所述第二过渡腔与所述收卷室之间依次设置加热室和第三过渡腔；所述磁控溅射镀膜室上设置用于填充镀膜用气体的布气系统；在装载室和收卷室上均开设腔室门，腔室门与装载室和收卷室之间均设置有密封圈。