| 发明名称 | 单体、包含所述单体的硬遮罩组成物及使用所述硬遮罩组成物形成图案的方法 | ||
| 摘要 | 揭示一种以下列化学式1表示的用于硬遮罩组成物的单体、包含所述单体的硬遮罩组成物及使用所述硬遮罩组成物形成图案的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN105026389A | 申请公布日期 | 2015.11.04 |
| 申请号 | CN201380073499.2 | 申请日期 | 2013.05.08 |
| 申请人 | 第一毛织株式会社 | 发明人 | 尹龙云;李圣宰;文俊怜;朴惟廷;李哲虎;赵娟振 |
| 分类号 | C07D407/10(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;C08G59/22(2006.01)I | 主分类号 | C07D407/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 马爽;臧建明 |
| 主权项 | 一种用于硬遮罩组成物的单体，是以下列化学式1表示：<img file="FDA0000785300680000011.GIF" wi="892" he="353" />其中，在以上的化学式1中，A是取代或未取代的多环芳香基，A′是取代或未取代的C6‑C20亚芳基，X是环氧基，Y是氢、羟基、C1至C10的烷基胺基、胺基(‑NH<sub>2</sub>)、羰基(＝O)，或它们的组合，l是0至6的整数，及m和n是各自独立地为1至4的整数。 | ||
| 地址 | 韩国庆尚北道龟尾市龟尾大路58番地 | ||