| 发明名称 | 化学机械抛光垫 | ||
| 摘要 | 提供一种化学机械抛光垫，其含有具有抛光表面的抛光层，其中所述抛光层包含包括以下的成分的反应产物：异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物；和固化剂系统，其含有高分子量多元醇固化剂；和双官能固化剂。<pb pnum="1" /> | ||
| 申请公布号 | CN105014528A | 申请公布日期 | 2015.11.04 |
| 申请号 | CN201510188781.6 | 申请日期 | 2015.04.20 |
| 申请人 | 陶氏环球技术有限公司;罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 | 发明人 | B·钱;M·W·格鲁特 |
| 分类号 | B24B37/24(2012.01)I;B24B37/22(2012.01)I;B24B37/10(2012.01)I;C08G18/65(2006.01)I;C08G18/40(2006.01)I;C08G18/32(2006.01)I;C08G18/10(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/24(2012.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋;江磊 |
| 主权项 | 一种化学机械抛光垫，其包含：具有抛光表面的抛光层，其中所述抛光层包含包括以下的成分的反应产物：具有8.5到9.5重量％的未反应的NCO基团的异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物；和固化剂系统，其包含：10到60重量％的高分子量多元醇固化剂，其中所述高分子量多元醇固化剂具有2,500到100,000的数量平均分子量M<sub>N</sub>；并且其中所述高分子量多元醇固化剂每分子具有平均3到10个羟基；和40到90重量％的双官能固化剂。 | ||
| 地址 | 美国密歇根州 | ||