MEMS MEMS MEMS MEMS ACOUSTIC TRANSDUCER MEMS MICROPHONE MEMS MICROSPEAKER ARRAY OF SPEAKERS AND METHOD FOR MANUFACTURING AN ACOUSTIC TRANSDUCER

摘要

MEMS 음향 트랜스듀서는 그것을 통한 공동을 갖는 기판, 및 기판 공동을 가로질러 연장되는 복수의 도전성 관통 백 플레이트 부분들을 포함하는 도전성 백 플레이트 유닛을 포함한다. 인접한 도전성 관통 백 플레이트 부분들 사이의 백 플레이트 유닛 상에 배열된 유전체 스페이서, 및 유전체 스페이서에 의해 지지되고 도전성 관통 백 플레이트 부분을 가로질러 연장되는 하나 이상의 그래핀 멤브레인을 포함한다.