| 摘要 |
<p>본 발명은 이하의 단계들을 포함하는, 실리콘 탄화물의 모놀리식 주괴의 제조방법에 관한 것이다: i) 폴리실리콘 금속 칩과 탄소 분말을 포함하는 혼합물을 마개가 달린 원통형 반응 셀에 도입하는 단계; ii) 상기 i) 단계의 원통형 반응 셀을 밀봉하는 단계; iii) 상기 ii) 단계의 원통형 반응 셀을 진공로(vacuum furnace)에 도입하는 단계; iv) 상기 iii) 단계의 진공로를 배기시키는 단계; v) 상기 iv) 단계의 진공로에 대기압 부근까지 실질적으로 불활성인 가스인 가스 혼합물을 충전시키는 단계; vi) 상기 v) 단계의 진공로 내의 상기 원통형 반응 셀을 1600℃ 내지 2500℃의 온도까지 가열시키는 단계; vii) 상기 vi) 단계의 원통형 반응 셀 내의 압력을 50torr 이하 0.05torr 이상까지 감압시키는 단계; 및 viii) 상기 vii) 단계의 원통형 반응 셀의 마개의 안쪽 상에 증기의 실질적인 승화 및 응결을 허용하는 단계.</p> |
