| 发明名称 |
DEBONDING A GLASS SUBSTRATE FROM CARRIER USING ULTRASONIC WAVE |
| 摘要 |
얇은 작동 기판을 포함한 장치 제조 공정은 작동 기판을 캐리어 기판에 접착하는 단계와, 작동 구성요소를 작동 기판상에 형성하는 단계와, 초음파를 접합 경계면에 적용함으로써 상기 작동 기판을 상기 캐리어 기판으로부터 비접착하는 단계를 포함한다. 초음파 적용은 작동 기판에 가해지는 인장 스트레스를 감소시킴으로써 비접착 단계에 도움이 된다. |
| 申请公布号 |
KR101565638(B1) |
申请公布日期 |
2015.11.03 |
| 申请号 |
KR20127007733 |
申请日期 |
2010.08.26 |
| 申请人 |
코닝 인코포레이티드 |
发明人 |
카레, 알라인, 알., 이.;가너, 시인, 엠.;와쿠-엔심바, 지안 |
| 分类号 |
H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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