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<p>본 발명은 특히 마이크로리소그래피를 위해 설계된 이미징 장치의 제어 유닛(108)을 위한 입력 변수의 실제 입력값을 결정하는 방법에 관한 것으로, 상기 입력값은 광학 이미징 장치(101)의 제1 장소에 할당되고, 검출 단계(112.9)에서, 이미징 장치의 적어도 하나의 검출 장치(110.6)의 검출 변수의 적어도 하나의 실제 검출값이 제2 장소에서 검출되고, 결정 단계(112.3)에서, 입력 변수의 실제 입력값이 적어도 하나의 실제 검출값과 사전규정될 수 있는 제1 관계(111.3)를 사용하여 결정된다. 결정 단계(112.3)의 제1 연산 단계(112.10)에서, 검출 장치(110.6)의 제2 장소에서의 검출 변수의 실제 연산값이 제2 관계(111.4)를 사용하여 연산적으로 확인된다. 결정 단계(112.3)의 비교 단계(112.11)에서, 검출 변수의 실제 연산값은 그후 검출 변수의 실제 검출값과 비교된다. 결정 단계(112.3)의 교정 단계(112.13)에서, 제1 관계(111.3)의 교정이 그후 제1 관계(111.3)와 제2 관계(111.4) 사이의 관계를 사용하여 비교 단계(112.11)의 결과의 함수로서 수행된다. 마지막으로, 결정 단계(112.3)의, 교정 단계(112.13)에 후속하는 제2 연산 단계(112.5)에서, 입력 변수의 실제 입력값이 제1 관계(111.3)를 사용하여 연산된다.</p> |
