共焦点Ｘ線蛍光・Ｘ線コンピュータ断層撮影複合システムおよび方法

摘要

Ｘ線コンピュータ断層撮影（ＣＴ）・Ｘ線蛍光（ＸＲＦ）複合システムと、Ｘ線ＣＴおよびＸＲＦを用いて試料（１０４）を解析する方法を使用する、試料（１０４）の相関評価が開示される。ＣＴ／ＸＲＦシステム（１０）は、ボリューム情報を取得するＸ線ＣＴサブシステム（１００）と、元素組成情報を特性解析する共焦点ＸＲＦサブシステム（１０２）とを含む。ＸＲＦサブシステム（１０２）とＸ線ＣＴサブシステム（１００）とで幾何学的較正が遂行されるため、Ｘ線ＣＴ取得のときに規定される関心領域を、その後のＸＲＦ取得のため、ＸＲＦサブシステム（１０２）に取り込むことができる。システム（１０）はＸ線ＣＴのサブマイクロメーター空間分解能３−Ｄ撮像能力に共焦点ＸＲＦの元素組成解析を組み合わせることにより、ｐｐｍレベルの感度で試料の３−Ｄ元素組成解析を提供する。これは多くの科学研究・産業用途に応用でき、その最たる例は鉱業における粉砕鉱石や浮選尾鉱での貴金属粒子の元素識別である。