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탄소 불순물 농도의 저감과 높은 성막속도를 양립시킬 수 있고, 또한 안정적인 결정구조의 형성 분리를 가능하게 하는 박막 제조 방법을 제공한다 본 발명에 의하면, 갈륨 화합물과 인듐 화합물의 적어도 한쪽과 물을 포함하는 원료 용액을 미립자화하여 생성되는 원료 미립자를 캐리어 가스에 의해 성막실에 공급하여 상기 성막실 내에 배치된 피성막 시료 위에 산화물 결정박막을 형성하는 공정을 구비하고, 상기 갈륨 화합물과 인듐 화합물의 적어도 한쪽은 브롬화물 또는 요오드화물인, 산화물 결정박막의 제조 방법이 제공된다. |
