| 摘要 |
방사선 검출용 반도체 장치는, 주면(11)을 갖는 반도체 기판(1), 적어도 하나의 반도체 재료 화합물을 포함하는 유전체층(6), 적어도 하나의 방사선에 민감한 부품(3)을 포함하는 집적 회로(2), 유전체층(6)의 금속간층(8)에 내장되는 집적 회로의 배선(4), 배선과 접촉하는 전기적 도전성 관통 기판 비아(5), 및 방사선에 민감한 부품 위에서 유전체층 상에 직접 배치되는 광학 필터 요소(7)를 포함한다. 유전체층은 적어도 관통 기판 비아 위에 패시베이션층(9)을 포함하고, 패시베이션층은 금속간층(8)과 상이한 유전체 재료를 포함하며, 배선은 주면과 패시베이션층 사이에 배치된다. |
