具有内嵌式彩色滤光片之背侧照光影像传感器及形成其的方法;METHOD AND APPARATUS FOR FORMING BACK SIDE ILLUMINATED IMAGE SENSORS WITH EMBEDDED COLOR FILTERS

摘要

一种半导体影像传感器包含基底，基底具有第一侧以及相对于第一侧的第二侧。内互连结构被设置于基底的第一侧上。复数个射线感测区域位在基底上。射线感测区域被配置用来感测自第二侧进入基底的射线。射线感测区域被复数个间隙给分隔。复数个射线阻挡结构被设置在基底的第二侧上。每个射线阻挡结构都分别与其中一个间隙互相切齐。复数个彩色滤光片设置于复数个射线阻挡结构之间。