平坦化装置及应用其之平坦化方法;PLANARIZATION DEVICE AND PLANARIZATION METHOD USING THE SAME

摘要

一种平坦化装置及应用其之平坦化方法平坦化装置包括平台、研磨垫、操作臂、一撷取头及遮垫。研磨垫设于平台上。撷取头可转动地配置于操作臂。遮垫可拆卸地设于操作臂的下表面。