单面镜面的合成石英玻璃基板之加工方法及合成石英玻璃基板的感应方法;METHODS FOR WORKING AND SENSING SYNTHETIC QUARTZ GLASS SUBSTRATE

摘要

一种单面镜面的合成石英玻璃基板之加工方法，其系至少经过研磨步骤、蚀刻步骤、表面镜面研磨步骤及洗净步骤，将表面研磨成镜面之单面镜面的合成石英玻璃基板之加工方法，其中前述蚀刻步骤系以pH4~7之氢氟酸或缓冲之氟酸进行。;依据本发明，可提供即使使用与不透明基板同样之设定下之光电感应器时仍具有确实的光遮蔽能，且可与不透明基板同样地感应，且抑制来自背面之粉尘发生之单面镜面的合成石英玻璃基板之加工方法。