| 发明名称 |
微机械构件用的层装置;SCHICHTENANORDNUNG FUER EIN MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT |
| 摘要 |
一种微机械构件(200)用的层装置(100)，具有：- 第一层(10)，既可用于该构件(200)的电气布线，亦可用作该构件(200)的电极；及- 抗氧化物蚀刻的第二层(20)，设于该第一层下方(10)，其中该第二层(20)大体形成于一个层面内。 |
| 申请公布号 |
TW201540649 |
申请公布日期 |
2015.11.01 |
| 申请号 |
TW104105270 |
申请日期 |
2015.02.16 |
| 申请人 |
罗伯特博斯奇股份有限公司 ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
格罗斯 阿克瑟 GROSSE, AXEL;史塔尔 海可 STAHL, HEIKO |
| 分类号 |
B81B3/00(2006.01);B81B7/02(2006.01);B81C1/00(2006.01) |
主分类号 |
B81B3/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰林景郁 |
| 主权项 |
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| 地址 |
德国 DE |
