| 发明名称 |
鋶盐、高分子化合物、光阻材料及图案形成方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI506021 |
申请公布日期 |
2015.11.01 |
| 申请号 |
TW103108756 |
申请日期 |
2014.03.12 |
| 申请人 |
信越化学工业股份有限公司 |
发明人 |
福岛将大;畠山润;大桥正树;阿达铁平 |
| 分类号 |
C07D279/20;C07C309/58;C08F20/10;G03F7/004;G03F1/20;G03F1/22;H01L21/027 |
主分类号 |
C07D279/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
周良谋 新竹市东大路1段118号10楼;周良吉 新竹市东大路1段118号10楼 |
| 主权项 |
一种鋶盐，以下列通式(1a)表示；
式中，R1表示氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基；R1a~R1m各自独立地表示氢原子、或也可经杂原子取代、也可插入有杂原子之碳数1~20之直链状、分支状或环状之1价烃基；L表示单键、或也可经杂原子取代、也可插入有杂原子之碳数1~20之直链状、分支状或环状之2价烃基；X表示一部分或全部氢原子也可取代为氟原子之碳数1~5之2价伸烷基；n表示0或1。 |
| 地址 |
日本 |
