发明名称 半导体装置之制造方法
摘要
申请公布号 TWI506689 申请公布日期 2015.11.01
申请号 TW101142147 申请日期 2012.11.13
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 谢政杰;侯上勇;郑心圃
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项 一种半导体装置之制造方法,包括:透过一黏着剂附接一晶圆至一载材上;形成复数沟槽于该载材中,以将该载材转换成一散热器;以及切割该散热器、该晶圆及该黏着剂成为复数封装体。
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号