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经营范围
发明名称
半导体装置之制造方法
摘要
申请公布号
TWI506689
申请公布日期
2015.11.01
申请号
TW101142147
申请日期
2012.11.13
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司
发明人
谢政杰;侯上勇;郑心圃
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
洪澄文 台北市南港区三重路19之6号2楼;颜锦顺 台北市南港区三重路19之6号2楼
主权项
一种半导体装置之制造方法,包括:透过一黏着剂附接一晶圆至一载材上;形成复数沟槽于该载材中,以将该载材转换成一散热器;以及切割该散热器、该晶圆及该黏着剂成为复数封装体。
地址
新竹市新竹科学工业园区力行六路8号
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