曝光装置、曝光方法及元件制造方法

主权项

一种曝光装置，系透过液体而使基板曝光之液浸曝光装置，其特征在于具备：投影光学系统；第1嘴构件，具有用以供应该液体之供应口；第2嘴构件，配置成与第1嘴构件分离且具有液体回收口；及驱动机构，能相对于该第1嘴构件而移动该第2嘴构件。