显示装置的制造方法,申请号TW097130667-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	显示装置的制造方法
摘要
申请公布号	TWI506677	申请公布日期	2015.11.01
申请号	TW097130667	申请日期	2008.08.12
申请人	半导体能源研究所股份有限公司	发明人	山崎舜平;手塚佑朗;古野诚;鸟海聪志;神保安弘;大力浩二
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人	林志刚台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项	一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：在基板上形成闸电极；在该闸电极上形成闸绝缘膜；在该闸绝缘膜上利用电浆CVD法形成微晶半导体膜；以及在该微晶半导体膜上形成非晶半导体膜，其中该微晶半导体膜具有1×1017atoms/cm3或更少的氧浓度。
地址	日本

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