发明名称 |
制造由碳构成之奈米结构之装置及方法;DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING NANOSTRUCTURES CONSISTING OF CARBON |
摘要 |
本发明系关于一种装置,用于制造由碳构成之奈米结构,诸如单层、多层薄片结构、小管或纤维,该装置具有一进气元件(2),该进气元件(2)具有被壳体壁板(3、3'、3")封围之一壳体空腔(5),一供气管(6)通入该壳体空腔(5)内,一气态之、尤其含碳之起始材料经由供气管(6)可被馈入至该壳体空腔(5)内,该装置具有具备至少部分配置在该壳体空腔(5)内之组件(8、9、10)的一电浆产生器,该电浆产生器具有至少一个可经施加电压之电浆电极(9),以藉由点燃一电浆向该气态之起始材料施加能量并且因此将其转换成一气态之中间产物,且该装置具有具备复数个排气口(7)之一排气面(4),该气态之中间产物可经由该排气口(7)自该壳体空腔(5)中排出。提供用于辅助该转换之一气体加热单元(11),其配置在该等组件(8、9、10)之下游。 |
申请公布号 |
TW201540663 |
申请公布日期 |
2015.11.01 |
申请号 |
TW103140305 |
申请日期 |
2014.11.20 |
申请人 |
艾思强公司 AIXTRON SE |
发明人 |
布莱克柏恩 艾恩 BLACKBURN, IAN;泰欧 肯尼斯 TEO, KENNETH;鲁 布莱恩 LU, BRIAN;路比辛 海那林 RUPESINGHE, NALIN |
分类号 |
C01B31/02(2006.01);C23C16/505(2006.01);B82Y40/00(2011.01) |
主分类号 |
C01B31/02(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
德国 DE |