溅镀靶

摘要

本发明提供的溅镀靶，目的在于达成溅镀靶之长寿命化，及在其间形成于基板上的薄膜之膜厚均匀性之兼顾，系包含靶材的溅镀靶，上述靶材在其溅镀面具有：位于之圆形平坦的第1区域；及在上述第1区域之外侧以和上述第1区域呈同心圆状被配置的环状之第2区域；相对于上述第2区域，上述第1区域最大在较上述第2区域的厚度低15%之位置被配置，上述第1区域之直径设为上述溅镀面的外周直径之60%~80%。