| 发明名称 |
研磨用组成物及研磨方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI506128 |
申请公布日期 |
2015.11.01 |
| 申请号 |
TW100127926 |
申请日期 |
2011.08.05 |
| 申请人 |
福吉米股份有限公司 |
发明人 |
玉田修一;平野达彦;梅田刚宏;角田和也;井泽由裕 |
| 分类号 |
C09K3/14;C08G73/02;H01L21/304 |
主分类号 |
C09K3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈传岳 台北市大安区仁爱路3段136号13楼;郭雨岚 台北市大安区仁爱路3段136号13楼 |
| 主权项 |
一种研磨用组成物，其系含有研磨粒、金属抗蚀剂、水溶性聚合物、研磨促进剂及氧化剂，其中该水溶性聚合物为具有150mg KOH/1g固体以上胺值的聚醯胺聚胺聚合物。
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| 地址 |
日本 |
