利用电浆增强氧化进行钝化之矽蚀刻

主权项

一种矽层之蚀刻方法，该方法系利用其中放置该矽层之蚀刻腔室，并透过形成于该矽层上之图案化遮罩加以完成，该方法包含：矽层提供步骤，提供其上形成有该图案化遮罩的该矽层；蚀刻气体供给步骤，提供含有含氟气体及含氧及氢之气体的蚀刻气体至该蚀刻腔室；电浆产生步骤，由该蚀刻气体产生电浆；蚀刻步骤，利用该电浆透过该图案化遮罩将特征部蚀刻至该矽层；及中止步骤，中止该蚀刻气体，其中该含氧及氢之气体含有水蒸汽或醇类之至少其中一者。