| 主权项 |
一种光罩用基板，其特征在于：其系在第1主表面上形成转印用图案而用以作成光罩者，且于四角形状之上述第1主表面上之形成上述转印用图案之图案区域之外、且于上述第1主表面之相对向之两边之附近，具有包含当曝光机保持上述光罩时保持构件所抵接之抵接面的保持区域，当将上述保持区域内之2点且系位于与上述两边正交之直线上的相隔P(mm)之任意2点之高低差为Zsx(μm)时之[Zsx/P]设为平坦度指数Fsx，将该保持区域外之2点且系位于与上述两边正交之直线上的相隔P(mm)之任意2点之高低差为Zex(μm)时之[Zex/P]设为平坦度指数Fex时，该保持区域满足Fsx≦Fex。
|
