| 发明名称 |
具有前部和中间的菊链功率注入、屏蔽和抗水性特征的流线型加热器组件;STREAMLINED HEATER ASSEMBLY WITH FRONT AND INTERMEDIATE DAISY CHAIN POWER INJECTION, SHIELDING, AND WATER RESISTANT FEATURES |
| 摘要 |
加热器模组(12)被配置成用于流线型菊链式连接，该流线型菊链式连接包含前端和中间的菊链功率注入装置(14)、抗水性加热器组件(20、32、34)以及屏蔽(210)。一功率注入装置(14)被配置成具有用以将功率插入至位于前部和中间的菊链位置处的加热器模组(12)之中的连接功能，同时致能资料通讯于被定位在该些功率注入位置之相反侧的加热器模组(12)之间。 |
| 申请公布号 |
TW201542026 |
申请公布日期 |
2015.11.01 |
| 申请号 |
TW104107384 |
申请日期 |
2015.03.09 |
| 申请人 |
ＭＫＳ仪器公司 MKS INSTRUMENTS, INC. |
发明人 |
凯尔曼 杰佛瑞Ｄ KEIRNAN, JEFFREY D.;郝斯曼 卡尔 HAUSMANN, KARL;杜梭瑞特兹 保罗 DOZORETZ, PAUL |
| 分类号 |
H05B1/02(2006.01);G05D23/19(2006.01) |
主分类号 |
H05B1/02(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
阎启泰林景郁 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 US |
