埋入式字元线及其隔离结构的制造方法;METHOD OF FORMING BURIED WORD LINE AND ISOLATION STRUCTURE THEREOF

摘要

一种埋入式字元线及其隔离结构的制造方法，包括先在基板内形成多个埋入式字元线，且埋入式字元线的顶部低于基板表面。之后，在埋入式字元线上的沟渠内分别形成罩幕结构层，并藉由移除部分结构，使罩幕结构层凸出，以便于罩幕结构层的侧壁形成间隙壁，进而形成多个自行对准的沟渠。然后，以间隙壁与罩幕结构层为蚀刻罩幕，蚀刻去除沟渠底下的基板，以形成多个隔离结构沟渠，再在隔离结构沟渠内形成隔离结构。