正型光阻材料及利用此之图案形成方法

主权项

一种正型光阻材料，其特征为将包含以酸不稳定基取代羧基及/或苯酚性羟基之氢原子之重复单元、与下列通式(1)表示之有酱色呋喃酮酯之重复单元a之重量平均分子量为1,000~500,000之范围之高分子化合物作为基础树脂，并含有有机溶剂及酸产生剂；
(式中，R1为氢原子或甲基，R2为甲基或乙基，X为单键、酯基、醚基或具有内酯环之碳数1~12之连结基、伸苯基、或伸萘基)。