掩模板面型整形装置及采用其的光蚀刻机

摘要

一种掩模板面型整形装置，包括：吸盘、吸盘安装框架以及气动控制系统；其中，该吸盘安装框架设置在掩模台上方，该吸盘分散安装在该吸盘安装框架的底部；该气动控制系统用于控制该吸盘吸取或释放掩模板。本发明的吸盘的设置避开了掩模板上的梯形照明视场，使得光束100%照射到掩模上，提高了曝光效率；掩模板面型整形装置单独设置，不安装在光蚀刻机上，减少掩模板的重量负荷，且掩模板面型整形装置不与光蚀刻机中的任何组件接触，不会给光蚀刻机带来外部的震动。