| 发明名称 |
晶圆放置盘;TRAY FOR CONTAINING WAFERS |
| 摘要 |
一种晶圆放置盘，包括有本体、复数容置槽及复数限位件。本体具有一上表面及一下表面。复数容置槽位于本体之上表面，各容置槽用以容置晶圆。复数限位件位于本体之下表面，限位件用以在两块晶圆放置盘上下叠置时，对应卡入各容置槽中，以减少各晶圆于各容置槽内可活动之空间。 |
| 申请公布号 |
TW201540619 |
申请公布日期 |
2015.11.01 |
| 申请号 |
TW103115236 |
申请日期 |
2014.04.28 |
| 申请人 |
原津工业股份有限公司 YANGINIC INDUSTRY CO., LTD |
发明人 |
刘长洪 LIU, CHANG HUNG |
| 分类号 |
B65D85/90(2006.01) |
主分类号 |
B65D85/90(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈启桐廖和信 |
| 主权项 |
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| 地址 |
新北市新店区中正路531之1号 TW |
