使用包含光酸产生剂之抗反射涂覆组成物之形成图案之方法;METHOD FOR FORMING PATTERN USING ANTI-REFLECTIVE COATING COMPOSITION COMPRISING PHOTOACID GENERATOR

摘要

本发明系关于利用负调显影(NTD)形成图案之方法，其系透过在基板与光阻剂组成物层间形成包含光酸产生剂之抗反射涂覆组成物层而制备，因此展现改良之图案线宽(CD)，并于曝光过程中透过彻底活化光阻剂组成物层之去封阻而防止光阻剂图案压毁之现象。