晶圆定位辨识装置

主权项

一种晶圆定位辨识装置，其包含：一晶圆本体；复数以非破坏性手段形成于该晶圆本体相异处之标示图形部，各该标示图形部彼此外形各异；及至少一供侦测该些标示图形部之侦测装置，系发射一侦测讯号给予该标示图形部，并由该标示图形部回传一定位讯号，以解读出该晶圆本体之正确位置与相应角度。