成膜方法（二）

主权项

一种成膜方法，系藉由二官能性之酸酐所构成之第1单体与二官能性之胺所构成之第2单体的脱水聚合来于基板表面成膜聚醯亚胺膜之成膜方法，包含有：搬入工序，系将该基板搬入至处理容器内；加热工序，系接着将该基板加热至产生聚醯亚胺膜的温度；重复工序，系接着进行复数次循环，该循环包含有在将含第1单体之第1处理气体供给至该基板的步骤、将含第2单体之第2处理气体供给至该基板之步骤、以及于两步骤间，将置换气体供给至该处理容器内而藉由置换气体来置换该处理容器内之氛围的步骤；以及排气工序，系从该处理容器排出该第1处理气体及该第2处理气体中之至少任一者。