发明名称 垂直集成系统
摘要
申请公布号 TWI506750 申请公布日期 2015.11.01
申请号 TW104113577 申请日期 2011.12.15
申请人 美国亚德诺半导体公司 发明人 欧唐尼尔 亚伦;艾瑞特 圣地牙哥;莫菲 马克J;莱登 柯林;凯西 盖瑞;英格利许 佑恩 艾德华
分类号 H01L23/488;H01L23/50;H01L23/528;H01L23/045 主分类号 H01L23/488
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种积体电路系统,其包含:一第一层,其包含一半导体晶粒之一主动式电路;一第二层,其包含在该半导体晶粒上之一电路元件;一电路径,其将该电路元件耦接至该主动式电路;及一第三层,其与该第一层及该第二层垂直地堆叠,该第三层包含一微机电系统(MEMS)组件,其中该第三层与该半导体晶粒通讯。
地址 美国