主权项 |
一种积体电路制造之初制晶圆系统,该初制晶圆系统包括:电脑,包含资料输入介面及储存媒体,该电脑系组构成经由该电脑之该资料输入介面接收来自请求晶圆之订单资讯以及接收与供给晶圆有关之晶圆资料;置物架,系具有复数个槽,适用于接收包含供给晶圆之容器,该容器具有与其相关连之机器可读媒体,并且以与该容器中之该供给晶圆有关之该晶圆资料编码;感测装置,系适用于读取来自与该容器有关之该机器可读媒体之该晶圆资料,该感测装置系与该电脑信息通讯,用以将该晶圆资料从该感测装置转移至该电脑;以及容器运输器,系适用于移动该容器进入和离开该置物架中之该复数个槽;其中,该电脑系组构成比较在该电脑中来自该请求晶圆之该订单资讯以及来自该供给晶圆之该晶圆资料,以建立检验资料集在该电脑中,其中,该储存媒体系适用于储存该检验资料集于其中,以及其中,该电脑系适用于基于该检验资料集之建立及/或该检验资料集中所包含资讯,使用该容器运输器以启动该供给晶圆从该容器进入和离开该置物架而至前开口单一化匣之转移。 |