| 发明名称 |
三轴磁场感测器;THREE AXIS MAGNETIC FIELD SENSOR |
| 摘要 |
三个电桥电路(101、111、121)各包含耦接成一惠斯登电桥(100)之若干磁阻感测器以在经由一单钉紮材料沈积及块体晶圆设定程序设定之三个正交方向(110、120、130)中感测一磁场(160)。该三个电桥电路之一者(121)包含：一第一磁阻感测器(141)，其包括安置于一钉紮层(126)上之一第一感测元件(122)，该第一感测元件(122)具有第一边缘及第二边缘以及第一侧及第二侧；以及一第一通量导件(132)，其系安置成不平行于该基板之该第一侧且具有接近该第一感测元件(122)之该第一边缘及该第一侧的一端部。一选用之第二通量导件(136)系可安置成不平行于该基板之该第一侧且具有接近该第一感测元件(122)之该第二边缘及该第二侧的一端部。 |
| 申请公布号 |
TW201541109 |
申请公布日期 |
2015.11.01 |
| 申请号 |
TW104121762 |
申请日期 |
2010.09.27 |
| 申请人 |
艾尔斯宾科技公司 EVERSPIN TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
玛瑟 菲利普 MATHER, PHILLIP;史劳特 约翰 SLAUGHTER, JON;雷洛 尼可拉斯 RIZZO, NICHOLAS |
| 分类号 |
G01R33/09(2006.01);H01L43/08(2006.01) |
主分类号 |
G01R33/09(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 US |
