振动发生机

摘要

使滑动载台的流体轴承构造被简单化，藉此获得低成本化的振动发生机。振动发生机(1)，是在设于滑动载台(5)的下部的基座托板的纵剖面视，包含具有：两侧面是各别与别的各基座托板构成部的侧面彼此相邻的第1基座托板构成部(10a)、及与该第1基座托板构成部(10a)的片侧面及别的基座托板构成部的片侧面彼此相邻的第2基座托板构成部(10b)的领域。在第1基座托板构成部(10a)及第2基座托板构成部(10b)之间设有第1流路形成要素(20)。第1流路形成要素(20)，是具有：朝第1基座托板构成部(10a)的下面及第2基座托板构成部(10b)的下面供给油的第1垂直流路(30)、及朝第1基座托板构成部(10a)的侧面及与该侧面相面对侧的第2基座托板构成部(10b)的侧面供给油的水平流路(31)。