生产高纯度六氟化钨之方法及装置

主权项

一种纯化含有过渡金属化合物杂质之六氟化钨气体的方法，其包含：藉由以下方法将该等过渡金属杂质与该六氟化钨气体分离：将起始六氟化钨气流引入含有含碳材料之密闭容器中；在使六氟化钨气体穿过该密闭容器之温度下，将该等过渡金属化合物杂质吸附于该含碳材料上；且收集穿过该密闭容器之六氟化钨气体；其中该密闭容器之操作温度系在275°K与500°K之间，该密闭容器之操作压力系在110kPa与500kPa之间。