包括含光酸产生剂之端基之聚合物、包括该聚合物之光阻剂及制造装置之方法

主权项

一种聚合物，系包含不饱和单体与式(I)之链转移剂的聚合产物，该不饱和单体系包含：酸可去保护性单体、硷溶性单体、含内酯之单体、光酸产生单体或包含前述单体之至少一者的组合；
其中，于式(I)中：Z系y价C1-20有机基；L系杂原子或单键；A1与A2系个别独立为含酯或不含酯且系经氟化或非经氟化，且独立为C1-40伸烷基、C3-40伸环烷基、C6-40伸芳基或C7-40伸芳烷基，且A1系含有位于对结合硫之位点而言为α位的腈、酯或芳基取代基；X1系单键、-O-、-S-、-C(=O)-O-、-O-C(=O)-、-O-C(=O)-O-、-C(=O)-NR-、-NR-C(=O)-、-NR-C(=O)-NR-、-S(=O)2-O-、-O-S(=O)2-O-、-NR-S(=O)2-或-S(=O)2-NR，其中，R系H、C1-10烷基、C3-10环烷基或C6-10芳基；Y-系阴离子性基；G+系金属性或非金属性阳离子；以及y系1至6之整数。