板状物之加工方法

摘要

本发明之课题为提供一种板状物之加工方法，其可在玻璃基板等的板状物上有效率地形成所要求的形状之贯通口。解决手段为在板状物上形成所要求的形状之贯通口的板状物之加工方法，其包含贯通口轮廓形成步骤以及贯通口形成步骤。该贯通口轮廓形成步骤是藉由以包括有照射雷射光线之聚光器的脉冲雷射光线照射手段，将对板状物具有穿透性的波长之脉冲雷射光线的聚光点定位于板状物内部，而沿着用来形成贯通口的轮廓进行照射，以沿着用来形成贯通口的轮廓在板状物内部施行雷射加工。该贯通口形成步骤是藉由对应于已实施过该贯通口轮廓形成步骤之板状物的用来形成贯通口的轮廓，将超音波赋予手段之超音波振动器定位而进行超音波作用，以破坏已进行过雷射加工之用来形成贯通口的轮廓，而在板状物上形成贯通口。