从有机矽酸盐材料移除碳的方法

主权项

一种用于在一基材上形成有机矽酸盐膜之方法，其包含：提供一基材；于该基材上提供一复合有机矽酸盐膜，其中该复合有机矽酸盐膜系由包含至少一含矽前驱物及至少一含生孔剂前驱物的组成物沉积而且其中该复合有机矽酸盐膜包含含碳物种，一第一折射率及一第一消光系数；及以一包含一氧化剂的化学药品处理该复合有机矽酸盐膜，以移除至少一部分存在于该复合有机矽酸盐膜内的含碳物种及提供一具有第二折射率及一第二消光系数的有机矽酸盐膜，其中该处理后的第二折射率及第二消光系数低于该第一折射率及第一消光系数。