蒸镀遮罩装置

摘要

本发明系一种蒸镀遮罩，蒸镀遮罩装置的制造方法，及有机半导体元件的制造方法，其课题为提供即使作为大型化亦可满足高精细化与轻量化双方之蒸镀遮罩，及可将此蒸镀遮罩精确度佳地调整位置于框体之蒸镀遮罩装置之制造方法，及可制造高精细之有机半导体元件之有机半导体元件的制造方法者。;解决手段系层积设置有缝隙之金属遮罩，和对应位置于前述金属遮罩表面，复数配列配置对应于蒸镀制作之图案的开口部于纵横之树脂遮罩所成者。