基板处理装置、保养方法及记录媒体

主权项

一种基板处理装置，系具备有：处理室，系处理既定片数各种基板；基板收容部，系载置有虚设载具，该虚设载具系至少收纳着上述各种基板之一种的虚设基板；记忆部，系储存着上述虚设载具从上述基板收容部上被搬出时的该虚设载具内之各虚设基板膜厚值；以及管理部，系若上述虚设载具再投入于上述基板收容部上，便根据上述记忆部所储存的膜厚值，再设定该虚设载具内的各虚设基板膜厚值。