发明名称 石墨烯奈米碳管复合膜结构的制备方法
摘要
申请公布号 TWI506155 申请公布日期 2015.11.01
申请号 TW100119680 申请日期 2011.06.03
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 发明人 姜开利;林晓阳;肖林;范守善
分类号 C23C16/26;B32B19/06 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项 一种石墨烯奈米碳管复合膜结构的制备方法,包括以下步骤:提供一金属基底,该金属基底具有一第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面;采用化学气相沈积法在所述金属基底的第一表面生长石墨烯膜;形成一高分子层覆盖所述石墨烯膜;去除部分金属基底,获得石墨烯膜与高分子层的复合结构;以及提供一自支撑的奈米碳管膜结构与所述石墨烯与高分子层的复合结构复合,其中,所述采用化学气相沈积法在所述金属基底的第一表面生长石墨烯膜的步骤包括以下步骤:将所述金属基底放入一反应室内,在800摄氏度至1500摄氏度范围处理所述金属基底的第一表面;向反应室内通入碳源气,于所述金属基底的第一表面生长石墨烯膜;以及将所述金属基底冷却至室温,取出生长有石墨烯膜的金属基底。
地址 新北市土城区自由街2号