探针卡搬送机构、探针卡搬送方法及探针装置

主权项

一种探针卡搬运机构，具备有：第1卡搬运机构，系为了于探针装置之插入环装卸探针卡而搬运该探针卡；以及第2卡搬运机构，系于该第1卡搬运机构与该插入环之间搬运该探针卡；其特征在于：该第1卡搬运机构系具有可前进后退动作之卡保持具，系设置于将测试头转动至该插入环为止之转动驱动机构侧且于该第2卡搬运机构之间进行该探针卡之收授；该第2卡搬运机构系具有：载置台，系于该第1卡搬运机构与该插入环之间搬运该探针卡；以及，昇降机构，系彼此保持既定间隔而可昇降地设置于该载置台周围，且于该第1卡搬运机构与该载置台之间收授该探针卡；该昇降机构具有：支撑体，系承接卡支撑器来支撑探针卡；以及，定位销，系设于该支撑体处，可嵌入于在该卡支撑器所形成之凹部内以让该探针卡相对于该插入环进行定位。