| 主权项 |
一种温度补偿系统，该系统包括：第一读取模组，用于读取环境温度值及标准工件的温度值，判断所述标准工件的温度值与所述环境温度值的误差值是否于允许误差比例范围内；量测模组，用于当所述标准工件的温度值与所述环境温度值的误差值于允许误差比例范围内时，在所述环境温度下控制量测单元量测放置于量测机台上的标准工件的量测长度值和该量测机台的光栅尺的量测刻度值；第一计算模组，用于根据所述标准工件的理论长度值和所述量测长度值，及光栅尺量测刻度值和理论刻度值，计算出标准工件的长度偏差值和光栅尺的刻度偏差值；第二计算模组，用于根据计算得到的标准工件的长度偏差值和光栅尺的刻度偏差值、量测标准工件量测长度值的量测次数、量测光栅尺量测刻度值的量测次数、量测机台每个座标轴的座标值计算所述标准工件和光栅尺分别对应的每个座标轴的补偿系数；第三计算模组，用于根据计算出来的标准工件和光栅尺于每个环境温度下各个座标轴的补偿系数和环境温度个数，计算出标准工件和光栅尺分别对应的每个座标轴总补偿系数值；第四计算模组，用于利用待测工件的温度值和光栅尺的温度值、环境温度值、标准工件对应的每个座标轴的总补偿系数值、及光栅尺对应的每个座标轴的总补偿系数值，计算出放置于量测机台上的待测工件对应的各个座标轴的总误差，所述待测工件对应的各个座标轴的总误差的计算公式为：△L=L[A1*(T1-T)-A2*(T2-T)]，其中L是预先储存的所述量测机台的每个座标轴的座标值，A1是所述标准工件对应的每个座标轴的总补偿系数值，A2是所述光栅尺对应的每个座标轴的总补偿系数值，T1是所述待测工件的温度值，T2是所述光栅尺的温度值，T是所述环境温度值；及补偿模组，用于根据计算出来的待测工件对应的各个座标轴的总误差和量测机台各个座标轴的座标值来计算待测工件于各个座标轴的实际座标值。 |
