发明名称 被成膜基板、有机EL显示装置
摘要
申请公布号 TWI506152 申请公布日期 2015.11.01
申请号 TW101102311 申请日期 2012.01.19
申请人 夏普股份有限公司 发明人 园田通;川户伸一;井上智;桥本智志
分类号 C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼;林宗宏 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种被成膜基板,其特征在于:其系形成有蒸镀部者,该蒸镀部系藉由包含具备用以射出蒸镀粒子之射出口之蒸镀源、及与上述蒸镀源对向配置且具备供自上述射出口射出之蒸镀粒子通过之复数个开口部之蒸镀遮罩的蒸镀装置,经由上述开口部使上述蒸镀粒子蒸镀而成;上述被成膜基板包含二维地排列于像素区域内之复数个像素、及与各像素电性连接之复数根配线;一边以上述像素区域通过与上述开口部对向之区域之方式,使该被成膜基板相对于上述蒸镀遮罩沿一方向进行相对移动,一边使上述蒸镀粒子自上述射出口射出,藉此,复数个蒸镀部相互介隔间隙而形成于包含上述像素区域之区域内;上述复数根配线之各端子系配置于上述间隙内;且上述复数个开口部系沿与上述被成膜基板之相对移动方向正交之方向上排列;上述复数个蒸镀部形成为在与上述相对移动方向相对应之方向上延伸之直线状;上述各端子系配置于形成为直线状之上述间隙。
地址 日本