太阳能电池的制备方法

主权项

一种太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：提供一矽基板，所述矽基板具有相对设置的一第一表面以及一第二表面；在所述矽基板的第二表面设置一图案化的掩膜层，所述图案化的掩膜层包括复数并排延伸的条形凸起结构，相邻的条形凸起结构之间形成一沟槽，所述矽基板通过该沟槽暴露出来；蚀刻所述矽基板，使所述掩膜层中相邻的复数条形凸起结构依次两两闭合，形成复数三维奈米结构预制体；去除所述掩膜层，在所述矽基板的第二表面形成复数M形三维奈米结构；在所述三维奈米结构表面形成一掺杂矽层；在所述掺杂矽层的至少部份表面设置一上电极；以及设置一背电极与所述矽基板欧姆接触。