| 主权项 |
一种包括一整合式MEMS回转仪架构之系统，该系统包括：具有一表面区域之一基板部件；上覆该表面区域之一CMOS IC层，该CMOS IC层具有一CMOS表面区域，该CMOS IC层具有一自动增益控制(AGC)环路，该AGC环路包含一整流器、一比较器、一比例积分微分(PID)控制器、一高压(HV)驱动器、一驱动电荷感测放大器(CSA)，及一90度移相器、一电荷泵、具有电荷感测放大器之一感测路径(CSA_SNS)、一可程式化增益放大器(PGA1)、一混频器、另一可程式化增益放大器(PGA2)、一低通滤波器(LPF)、一A/D转换器(ADC)，及一数位处理电路；及上覆该CMOS表面区域之一MEMS回转仪，该MEMS回转仪电耦合至该AGC环路。
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